產(chǎn)品展示

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P系列真空排氣臺(tái)技術(shù)參數(shù)表格

型號(hào) Mode 技術(shù)參數(shù) Technical Data	P431-2	P436-1	P431-1	P432-1
主極限真空度 Ultimate Vacuum	≤2×10-6Pa	10-6Pa	≤3×10-7Pa	≤3×10-8Pa
烘箱真空 Baking Chamber Vacuum	≤1×10-1Pa	5 Pa	2 Pa	5 Pa
烘箱工作空間 Baking Chamber Dimension	Ф500×1200 mm	Ф700×700 mm	Ф460×500 mm	Ф200×1200 mm
真空系統(tǒng) Vacuum System	分子泵系統(tǒng) Turbo Pump System	分子泵系統(tǒng) Turbo Pump System	離子泵系統(tǒng) Ion Pump System	冷凝泵系統(tǒng) Cryopump System
******溫度 Max.Temperature	650℃	600℃	600℃	600℃
溫度均勻性（軸向） Temperature Uniformity	≤±5℃三點(diǎn)測(cè)溫 (3 point measurement)	±10℃	±5℃	≤±5℃三點(diǎn)測(cè)溫 (3 point measurement)
抽氣速度 Pumping Speed	≥450 L/S	≥450L/S	≥450L/S	≥450L/S
加熱功率 Heating Power	12 KW	18 KW（10可調(diào)，8固定） (10 adjustable,8 fixed)	9 KW	10 KW
總功率 Total Power	15 KW	22 KW	13 KW	15 KW
加熱方式 Heating Mode	外加熱 Outside Heating	外加熱 Outside Heating	內(nèi)加熱 Inside Heating	內(nèi)加熱 Inside Heating

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